Auflösung

Messungen

Da alle Abbildungen bisher per Schattenwurf erzeugt wurden, ist die Auflösung durch Beugungsmuster begrenzt, die sich daraus ergeben, daß die zur Abbildung verwendeten Masken einen Abstand von etwa 1 cm zum Detektor haben. Die Verwendung von Optiken zur Erzeugung der Abbildungen würde einen sorgfältig justierten Beleuchtungsstrahlengang voraussetzen und eine zeitaufwendige Fokussierung des Bildes notwendig machen.

Klicken Sie auf eines der Bilder, um das Bild in voller Größe zu sehen. Die Detektor-Aufnahmen haben im Original eine Größe von 1024 x 1024 Bildpunkten.

Bild einer Auflösungstestmaske (Detektor #4351). 
Die breite der kleinsten Striche beträgt 150 µm, deren Mitte-Mitte Abstand 300 µm.
Bild eines geätzten Gitters mit einer Gitterkonstanten von 600 µm (Detektor #4351). 
An den Rändern der Gitterstrukturen sind deutlich die Beugungsmuster zu erkennen.
Horizontaler Schnitt durch den Intensitätsverlauf des obigen Bildes. Hier sind die Beugungsstrukturen an den Gitter-Stegen deutlich erkennbar, z.T. sind sie nur 1 Pixel breit. 
Dies zeigt, daß der Detektor Strukturen bis herunter zur Pixelgröße von etwa 28 µm auflösen kann.